
電鑄狹縫片是一種通過電鑄工藝制造的高精度金屬部件,其核心原理是利用金屬離子在陰極上的電沉積過程。以下是對電鑄狹縫片的詳細解析介紹:
一、電鑄狹縫片加工流程
1.基板準備
-選擇導電基板,表面拋光至鏡面級光潔度,確保無雜質。
-清洗:依次用丙酮、酒精、去離子水超聲清洗,烘干。
2.光刻掩膜制作
-涂膠:旋轉涂布光刻膠,厚度匹配設計狹縫深度。
-曝光:紫外光通過掩膜版曝光,顯影后形成凹槽狀電鑄狹縫片膠膜圖形。
3.電鑄沉積金屬
-電鑄槽:將基板浸入電鑄液。
-沉積:通電后金屬離子在裸露基板區域沉積,填充膠膜凹槽,形成金屬層。
-參數控制:溫度、電流密度,時間依厚度調整。
4.掩膜去除與分離
-剝離光刻膠:強堿溶液溶解膠膜,露出金屬結構。
-基板分離:機械或化學法剝離電鑄層,得到獨立金屬片。
5.精密后處理
-清洗檢測:等離子清洗后,顯微鏡/輪廓儀檢測電鑄狹縫片狹縫尺寸及平行度。
二、電鑄狹縫片應用領域
1.光譜儀器:作為光譜儀的關鍵部件,用于調節和控制光路的狹縫寬度,確保光譜分析的準確性。
2.精密模具制造:滿足高精度復雜零件的制造需求,如微電子器件、光柵碼盤等。
3.半導體與電子行業:用于制造精密元件,如噴孔片、霧化片等。
4.生物醫學:在醫療器械中,如用于精確控制流體或光路的狹縫結構,確保醫療設備的精確性和可靠性。
5.汽車制造業:用于檢測和測量汽車零部件的位置和尺寸,確保生產過程中的精度和質量。
三、電鑄狹縫片技術優勢
1.高精度:電鑄工藝能夠實現微米級甚至納米級的加工精度,滿足精密制造的需求。例如,電鑄狹縫片的開孔精度可達±0.003mm,縫寬可小至0.016mm。
2.高表面質量:電鑄層表面粗糙度低,孔壁光滑,線條不變形,確保產品的光學性能和機械性能。
3.復雜形狀制造能力:能夠一次性加工出復雜形狀的電鑄狹縫片,減少傳統加工中的多個工步,提高生產效率。
4.材料利用率高:電鑄工藝的材料利用率較高,有助于降低生產成本。
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