
蝕刻濾網是一種通過化學蝕刻或光刻蝕刻工藝制成的精密過濾裝置,具有高精度、均勻孔結構和定制化設計的特點。以下是關于蝕刻濾網的詳細介紹:
一、蝕刻濾網加工核心工藝
-化學蝕刻:利用化學溶液(如酸、堿)對金屬薄片(如不銹鋼、鈦、鎳等)進行選擇性腐蝕,形成特定形狀和尺寸的微孔。
-光刻蝕刻:結合光刻膠掩膜和曝光技術,實現更復雜的圖案設計(如異形孔、陣列結構),適用于半導體或高精度領域。
二、蝕刻濾網加工流程
1.材料準備:選擇金屬板材(如不銹鋼304/316),厚度通常為0.05-1mm。
2.涂覆光刻膠:均勻涂布光敏抗蝕劑。
3.曝光:UV光通過掩膜版使部分光刻膠固化。
4.顯影:去除未固化部分,形成蝕刻圖案。
5.蝕刻:使用FeCl?(用于銅)或HNO?/HF(用于不銹鋼)溶液溶解暴露的金屬。
6.去膠清洗:剝離剩余光刻膠,超聲清洗殘留物。
三、蝕刻濾網加工關鍵特點
-高精度孔徑:孔徑范圍通常為1μm–3mm,精度可達±2μm,適合精細過濾。
-均勻性:孔分布均勻,無毛刺或應力變形,過濾效率穩(wěn)定。
-耐腐蝕性:材料可選316L不銹鋼、哈氏合金等,耐受酸堿、高溫環(huán)境。
-定制化設計:支持非標孔型(圓形、方形、六邊形等)和梯度孔徑設計。
四、蝕刻濾網典型應用領域
-電子行業(yè):過濾半導體晶圓清洗液中的顆粒,防止芯片污染。
-醫(yī)療領域:血液透析設備、藥液過濾,確保無菌環(huán)境。
-化工能源:燃料電池氣體擴散層、催化劑載體。
-食品加工:酒類、食用油的高效過濾,符合FDA標準。
五、蝕刻濾網對比其他濾網
-蝕刻濾網優(yōu)勢:孔徑精確、無結構脫落;劣勢:成本較高。
-編織濾網優(yōu)勢:低成本、柔韌性好;劣勢:易堵塞、孔徑不均。
-燒結濾網優(yōu)勢:耐高壓、三維結構;劣勢:孔隙率低、難清洗。
六、維護與壽命
-清洗方法:超聲波清洗(避免強酸破壞孔結構)。
-壽命延長:定期反向沖洗,避免顆粒嵌入孔內。
-失效判斷:壓差增加20%以上或流量顯著下降時需更換。
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